[发明专利]一种电阻器端电极薄膜化的制备方法在审

专利信息
申请号: 201910139498.2 申请日: 2019-02-25
公开(公告)号: CN109841366A 公开(公告)日: 2019-06-04
发明(设计)人: 罗俊尧;杨曌;李保昌;沓世我;朱泽朝 申请(专利权)人: 广东风华高新科技股份有限公司
主分类号: H01C17/28 分类号: H01C17/28
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 颜希文;麦小婵
地址: 526000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种电阻器端电极薄膜化的制备方法,包括:在印刷有标记且已形成单元网络电阻体的网络电阻器基板上制备光刻掩膜;将形成光刻掩膜的电阻器基板分割成数条条状的电阻条,并将单元网络电阻体的两端用于引出网络电阻体的正面电极均引出至数条电阻条的侧端;将不同电阻条上的单元网络电阻体重叠放置,并将数条电阻条的侧端整齐堆叠形成端面;对端面进行双面镀膜处理和去掩膜处理,形成完整的端面薄膜电极;进行二次分割,完成凹槽型网络电阻器薄膜端电极的制备。本发明实施例能够有效地兼容大部分外形尺寸产品,实现凹槽片式网络电阻器产品端电极的薄膜化,进而降低成本,同时有利于实现批量生产。
搜索关键词: 电阻条 制备 单元网络电阻体 端电极薄膜 网络电阻器 光刻掩膜 网络电阻 电阻器 端电极 侧端 片式网络电阻器 电阻器基板 薄膜电极 尺寸产品 双面镀膜 形成单元 正面电极 重叠放置 凹槽型 薄膜化 有效地 分割 堆叠 基板 掩膜 薄膜 兼容 整齐 印刷 生产
【主权项】:
1.一种电阻器端电极薄膜化的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:在印刷有标记且已形成单元网络电阻体的网络电阻器基板上制备光刻掩膜,得到形成光刻掩膜的网络电阻器基板;将所述形成光刻掩膜的电阻器基板分割成数条条状的电阻条,并将单元网络电阻体的两端用于引出网络电阻体的正面电极均引出至数条所述电阻条的侧端;将不同电阻条上的单元网络电阻体重叠放置,并将数条所述电阻条的侧端整齐堆叠形成端面;对所述端面进行双面镀膜处理和去掩膜处理,形成完整的端面薄膜电极;将形成了完整的端面薄膜电极后的条状网络电阻器进行二次分割,完成凹槽型网络电阻器薄膜端电极的制备。
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