[发明专利]3Cr13马氏体不锈钢厨刀离子镀TiN层的制备工艺在审
| 申请号： | 201910140919.3 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN109695019A | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 张覃轶;夏凯林 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学;阳江拓必拓工业技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 崔友明 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及3Cr13马氏体不锈钢厨刀表面制备氮化钛硬质涂层的离子镀工艺，包括如下步骤：i)将经过预处理的3Cr13马氏体不锈钢厨刀样品入炉后抽真空，偏压调至400V，开惰性气体，先后起靶，完成轰击清洗过程；ii)调偏压，后五个弧源一起开启，设定基体温度，加入氮气，关挡板，关惰性气体；调氮气气压，关闭电弧离子镀设备多弧总开关，关氮气，开挡板；第一阶段镀膜过程完成；iii)调氮气，开电弧离子镀设备多弧总开关，调氮气，关挡板，关电弧离子镀设备多弧总开关，关氮气整个镀膜阶段去完成。本发明通过工艺参数的合理调配达到一种较好的在3Cr13马氏体不锈钢基体上沉积硬质氮化钛薄膜的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 氮气 马氏体不锈钢 电弧离子镀设备 挡板 总开关 厨刀 惰性气体 预处理 氮化钛薄膜 离子镀工艺 表面制备 氮气气压 镀膜过程 镀膜阶段 清洗过程 硬质涂层 制备工艺 抽真空 氮化钛 离子镀 弧源 入炉 硬质 沉积 轰击 调配 | ||
【主权项】：
1.3Cr13马氏体不锈钢厨刀离子镀TiN层的制备工艺，包括如下步骤：i)将经过预处理的3Cr13马氏体不锈钢厨刀样品入炉后抽真空达到2.0E‑2Pa，偏压调至400V，开惰性气体，开电弧离子镀设备多弧总开关按序号由小到大顺序先后起靶，完成轰击清洗过程；ii)调偏压40±10V，后五个弧源一起开启，设定基体温度280℃，40秒后加入氮气160格，关挡板，60秒后关惰性气体；调氮气气压至4.0E‑1Pa，4分钟后关闭电弧离子镀设备多弧总开关，关氮气，3分钟后开挡板；第一阶段镀膜过程完成；iii)调氮气至真空度4.0E‑1Pa，开电弧离子镀设备多弧总开关，30秒后调氮气至5.0E‑1Pa，关挡板，工作4分钟后关电弧离子镀设备多弧总开关，关氮气整个镀膜阶段去完成。
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