[发明专利]一种用于晶圆加工中的环保型底材在审
| 申请号： | 201910141988.6 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN109760394A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 夏枝巧;朱秀梅 | 申请（专利权）人： | 上海百卡新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B32B27/32 | 分类号： | B32B27/32;B32B27/08;B32B27/06;H01L21/304 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 吴肖敏 |
| 地址： | 201400 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆加工中的环保型底材，涉及晶圆加工领域，要解决的是晶圆加工的纵向横向扩张不均匀、晶圆切割时有塑胶丝污染晶圆等问题。本产品包括上层、中层和下层，所述上层的下表面与中层的上表面相贴合，中层的下表面与下层的上表面相贴合，上层、中层和下层采用三层共挤的工艺制作，上层、中层和下层均采用聚乙烯和聚丙烯的共聚物制作。本产品设计合理，通过在上层和中层使用聚乙烯及聚丙烯的共聚物,既可以改善聚乙烯因软化点低造成丝状物的污染,亦可改善聚丙烯不具柔软性；本产品采用三层共挤的生产方法,精密的控制生产条件,采用流延的生产方法可以使得生产出的UV膜纵向及横向扩张(延伸)均匀，使用效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 中层 晶圆加工 聚丙烯 下层 聚乙烯 上层 三层共挤 共聚物 环保型 上表面 下表面 底材 贴合 产品设计 工艺制作 横向扩张 晶圆切割 生产条件 纵向横向 不均匀 柔软性 软化点 丝状物 塑胶丝 晶圆 流延 生产 污染 精密 延伸 制作 | ||
【主权项】：
1.一种用于晶圆加工中的环保型底材，包括上层、中层和下层，所述上层的下表面与中层的上表面相贴合，中层的下表面与下层的上表面相贴合，其特征在于，上层、中层和下层采用三层共挤的工艺制作，上层、中层和下层均采用聚乙烯和聚丙烯的共聚物制作。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海百卡新材料科技有限公司，未经上海百卡新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910141988.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种缓冲杀菌气垫膜及其制备方法
- 下一篇：一种有机硅纳米涂层防水垫面料
