[发明专利]一种可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置

摘要

本发明公开了一种可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，包括固定在扫描电镜观察台面的机座，所述机座上开设有开槽，开槽的后侧机座上设有固定板，所述固定板上固定有伺服电机，在伺服电机的转子上固定有主动同步带轮；所述开槽的两侧设有托臂；在托臂上设有轴孔，在托臂上通过转轴安装有活动臂；所述活动臂上开设有U型槽，在转轴上且位于活动臂U型槽内固定有从动同步带轮；在转轴的一侧通过联轴器连接有转角检测传感器；所述活动臂的前端面固定有楔形探头，在探头的上表面固定有样品台，在样品台的两侧固定有样品夹等结构；该装置降低探头和样品台碰撞事故率、节约实验时间成本，使扫描电镜设备更容易升级到透射电镜技术级别。

主权项

1.一种可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置，其特征在于，包括固定在扫描电镜观察台面的机座，所述机座上开设有开槽，开槽的后侧机座上设有固定板，所述固定板上固定有伺服电机，在伺服电机的转子上固定有主动同步带轮；所述开槽的两侧设有托臂；在托臂上设有轴孔，在托臂上通过转轴安装有活动臂；所述活动臂上开设有U型槽，在转轴上且位于活动臂U型槽内固定有从动同步带轮；在转轴的一侧通过联轴器连接有转角检测传感器；所述活动臂的前端面固定有楔形探头，在探头的上表面固定有样品台，在样品台的两侧固定有样品夹；所述主动同步带轮与从动同步带轮通过同步带连接。