[发明专利]检查系统

摘要

本发明提供一种基板内的器件用的检查系统。一实施方式的检查系统具有检查模块、对准模块、支承机构以及固定机构。检查模块具有多个测试器，提供多个检查室。多个测试器分别能够收容于多个检查室。对准模块具有对准器。对准器设置于对准空间内。对准器相对于多个测试器中的收容到对准空间内的测试器调整基板的位置。支承机构从下方支承收容到对准空间内的测试器。固定机构构成为，与支承机构协作来固定被收容到对准空间内的测试器。

主权项

1.一种检查系统，其具备：检查模块，其具有分别包括探针卡和测试头的多个测试器，该检查模块提供能够分别收容所述多个测试器的多个检查室；对准模块，其具有设置到能够与所述多个检查室连接的对准空间内的对准器，该对准模块构成为，该对准器相对于所述多个测试器中的收容到所述对准空间内的测试器调整要检查的基板的位置；支承机构，其构成为，从下方支承所述多个测试器中的收容到所述对准空间内的所述测试器；以及固定机构，其构成为，使收容到所述对准空间内的所述测试器相对于所述对准器定位并与所述支承机构协作来固定该测试器。