[发明专利]柔性长链多鎓盐光致产酸剂、其制备方法和光刻胶组合物在审
| 申请号： | 201910145900.8 | 申请日： | 2019-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN109796382A | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 顾大公;毛智彪;许从应;陈玲;朱胜恺;齐国强 | 申请（专利权）人： | 江苏南大光电材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C07C319/12 | 分类号： | C07C319/12;C07C321/10;C07C303/22;C07C309/12;G03F7/004 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种柔性长链多鎓盐光致产酸剂、其制备方法和光刻胶组合物，柔性长链多鎓盐光致产酸剂具有如下结构通式（I）或（II）： |
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| 搜索关键词： | 长链 产酸剂 鎓盐光 光刻胶组合物 制备 烷基 光刻胶溶液 光敏剂分子 含氟磺酸 化学放大 结构通式 链状基团 碳原子数 鎓盐结构 光敏剂 硫鎓盐 酸扩散 烷氧基 阴离子 树脂 苯环 产酸 光酸 含链 式中 碳链 溶解 | ||
【主权项】：
1. 一种柔性长链多鎓盐光致产酸剂，其特征在于：具有如下结构通式（I）或（II）：![]()
(I)![]()
(II)该化合物中具有多个鎓盐阳离子和一个具长链结构的含氟磺酸阴离子；A为I、S中的一种或两种；na为2或3；R为H、Cl、Br、I、或碳原子数在1～20的烷基或烷氧基的一种或多种，R在苯环上的取代数为1～5；X中含有链状基团，X的结构通式表达为![]()
、![]()
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或![]()
，其中n为链长，链长为1～20个原子。
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