[发明专利]使用喷墨打印的蚀刻设备有效
申请号: | 201910146747.0 | 申请日: | 2019-02-27 |
公开(公告)号: | CN109935539B | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
发明(设计)人: | 李澎;汪梦琪 | 申请(专利权)人: | 安徽科创生产力促进中心有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H05K3/06 |
代理公司: | 南京匠桥专利代理有限公司 32568 | 代理人: | 王冰冰 |
地址: | 241000 安徽省芜湖市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了使用喷墨打印的蚀刻设备,其结构包括盖子、外壳、蚀刻装置,盖子设于外壳上并与外壳通过合页活动连接,蚀刻装置安装在外壳,本发明通过活动门板机构、驱动机构、升温机构、机械传动机构、平移机构、排液机构、活动门板控制机构共同作用下,蚀刻头在未工作时浸泡在溶液中,使得后期蚀刻出来的图像更为清晰直观,并且可以对溶液进行更换,有效保障蚀刻质量。 | ||
搜索关键词: | 使用 喷墨 打印 蚀刻 设备 | ||
【主权项】:
1.使用喷墨打印的蚀刻设备,其结构包括盖子(1)、外壳(2)、蚀刻装置(3),所述的盖子(1)设于外壳(2)上并与外壳(2)通过合页活动连接,所述的蚀刻装置(3)安装在外壳(2)中,其特征在于:所述的蚀刻装置(3)由活动门板机构(301)、驱动机构(302)、升温机构(303)、机械传动机构(304)、平移机构(305)、排液机构(306)、活动门板控制机构(307)、电路板(308)、纸捆(309)、蚀刻台(310)组成;所述的活动门板机构(301)与活动门板控制机构(307)机械配合,所述的驱动机构(302)与机械传动机构(304)机械配合,所述的机械传动机构(304)与活动门板机构(301)机械连接,所述的活动门板机构(301)与平移机构(305)机械配合,所述的驱动机构(302)与活动门板控制机构(307)机械连接诶,所述的活动门板机构(301)与升温机构(303)机械连接,所述的升温机构(303)与排液机构(306)相通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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