[发明专利]一种微光显微镜偏置装置有效
| 申请号： | 201910148038.6 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN109884515B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 王小青;段超;吴照玺;丁鸷敏;孟猛;王旭 | 申请（专利权）人： | 中国空间技术研究院 |
| 主分类号： | G01R31/311 | 分类号： | G01R31/311 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 张晓飞 |
| 地址： | 100194 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明一种微光显微镜偏置装置，包括外部电源、上位机、处理器、双通道测试工位、多阵列拨码开关、系统接口和驱动模块；外部电源对被测器件、测试模块和驱动模块供电；上位机发送控制信号给处理器，处理器对控制信号进行处理得到电压信号，之后通过系统接口发送给驱动模块，驱动模块同时对双通道测试工位及多阵列拨码开关进行选通及控制，每个通道均通过拨码开关提供多种偏置电压及测试模式，用于微光显微镜中集成电路缺陷的定位和失效的检查。本发明能够对微光显微镜中的器件提供特定的偏置条件，运行真值表测试文件和按照测试向量对器件进行功能测试，并且能够进行单步执行、固定偏置绑定以及测试程序循环等模式的偏置和测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微光 显微镜 偏置 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微光显微镜偏置装置，其特征在于：包括外部电源、上位机、处理器、双通道测试工位、多阵列拨码开关、系统接口和驱动模块；外部电源对被测器件、测试模块和驱动模块供电；上位机发送控制信号给处理器，处理器对控制信号进行处理得到电压信号，之后通过系统接口发送给驱动模块，驱动模块同时对双通道测试工位及多阵列拨码开关进行选通及控制，每个通道均通过拨码开关提供多种偏置电压及测试模式，用于微光显微镜中集成电路缺陷的定位和失效的检查。
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