[发明专利]加工装置的控制方法在审

专利信息
申请号: 201910148239.6 申请日: 2019-02-28
公开(公告)号: CN110223936A 公开(公告)日: 2019-09-10
发明(设计)人: 宫田谕 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/66
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 于靖帅;黄纶伟
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供加工装置的控制方法,容易地进行针对检查条件的参数的选定作业。该加工装置具有:卡盘工作台,其对被加工物进行保持;加工单元,其在卡盘工作台所保持的被加工物上形成加工槽;拍摄单元,其对待加工的区域进行检测;以及触摸面板,其显示拍摄单元所拍摄到的图像,并且能够输入检查条件的多个参数,其中,在形成加工槽的中途,中断加工单元的加工动作而利用拍摄单元对加工槽进行拍摄,获取拍摄图像,根据拍摄图像对加工槽的状态进行检查,在对多个参数进行调整而实施最优化时,操作者向显示于触摸面板的输入栏输入所选择的参数,与所选择的参数的输入对应地使输入光标从输入栏移动,按照输入至输入栏的所选择的参数来执行加工槽的检查。
搜索关键词: 加工槽 加工装置 拍摄单元 输入栏 卡盘工作台 被加工物 触摸面板 加工单元 拍摄图像 检查条件 输入光标 输入检查 拍摄 最优化 加工 检查 图像 中断 检测 移动
【主权项】:
1.一种加工装置的控制方法,该加工装置具有:卡盘工作台,其对被加工物进行保持;加工单元,其在该卡盘工作台所保持的被加工物上形成加工槽;拍摄单元,其对待加工的区域进行检测;以及触摸面板,其显示该拍摄单元所拍摄到的图像,并且能够输入检查条件的多个参数,其中,在形成该加工槽的中途,中断该加工单元的加工动作而利用该拍摄单元对该加工槽进行拍摄,获取拍摄图像,根据该拍摄图像对该加工槽的状态进行检查,在对多个参数进行调整而实施最优化时,操作者向显示于该触摸面板的输入栏输入所选择的参数,与该所选择的参数的输入对应地使输入光标从该输入栏移动,按照输入至该输入栏的该所选择的参数来执行该加工槽的检查。
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