[发明专利]用于利用激光加工设备加工工件的方法和激光加工设备

摘要

本发明涉及用于利用激光加工设备加工工件的方法和激光加工设备。激光加工设备（10）具有用于产生激光束（12）的激光器（11），所述激光束经由偏转装置（15）根据通过控制单元（14）预先给定的图形偏转并且定向到工件（13）的要加工的工件表面（17）上。偏转的激光束（12b）在工件表面上的射中位置（18）在圆形的阴影面之内沿着至少一个螺旋轨道引导。螺旋轨道的特征在于螺旋轨道参数。螺旋轨道参数是螺旋轨道与伸展经过螺旋轨道的中心的轴的相邻的交点之间的线间距（a）。

主权项

1.用于加工工件（13）的方法，所述方法利用具有用于产生激光束（12）的激光器（11）的激光加工设备（10），所述方法利用布置在激光束（12）的光路中的能控制的偏转装置（15），所述偏转装置在工件加工期间将从所述激光器（11）射入的激光束（12a）偏转到至少两个空间方向（X，Y）上并且将被偏转的所述激光束（12b）定向到所述工件（13）上，以及所述方法利用用于所述工件（13）和所述偏转装置（15）相对彼此定位和/或移动的定位装置（30），其中所述偏转装置（15）在工件表面（17）上的阴影面（16）之内沿着至少一个螺旋轨道（19）移动被偏转的所述激光束（12b）的射中位置（18），其中将所述螺旋轨道（19）与伸展经过所述螺旋轨道（19）的中心（M）的轴（r）的两个相邻的交点（P）之间的线间距（a）设定为描述至少一个螺旋轨道（19）的螺旋轨道参数（a，n，R），或者从预先给定的数据中选择，以便影响所述阴影面（16）之内的材料剥离。