[发明专利]一种光刻机照明视场光强分布测量控制方法

摘要

本发明公开了一种光刻机照明视场光强分布测量控制方法，该方法主要应用于运动台带动点能量传感器对光刻机照明视场内各点的光强进行测量的装置中。测量装置中运动台连续运动，通过光刻机曝光光源输出的激光同步信号控制采集系统采集激光光强，同时记录运动台瞬时位置坐标。该控制算法即解决了传感器阵列不能对大视场光强分布的一次成像问题，又实现了通过点能量传感器对光强分布的快速扫描。

主权项

1.一种光刻机照明视场光强分布测量控制方法，其特征在于：该方法利用的装置包括计算机(1)，数据采集卡(2)，运动台控制器(3)，运动台(4)，点能量传感器(5)，光刻机光源(6)，光刻机照明系统(7)，折转反射镜(8)和光刻机投影物镜(9)，数据采集卡(2)由激光器输出同步信号进行触发，采集点能量传感器(5)测量得到的光强信号，传输至计算机(1)，同时运动台控制器(3)控制运动台(4)带动点能量传感器(5)在光刻机照明系统(7)照明面进行连续面扫描，在数据采集卡(2)通过外部触发获得光强信号的同时计算机(1)读取运动台瞬时位置坐标，全视场扫描完成即可以得到照明视场光强分布，具体控制方法如下：步骤一：开始测量光刻机照明视场光强分布后，首先启动数据采集卡(2)，等待数据采集卡(2)外部触发信号，触发信号到来时，采集点能量传感器光强信号；步骤二：运动台(4)开始运动，运动台(4)在一个方向上做连续运动，另一个方向做步进运动；步骤三：计算机(1)读取运动台(4)瞬时坐标位置；步骤四：保存光强信号和运动台坐标位置数据；步骤五：数据采集卡(2)等待外部触发信号，触发信号到来时，采集点能量传感器(5)光强信号；步骤六：重复步骤三，直到完成光刻机整个照明视场光强分布的测量。