[发明专利]一种银/多孔金字塔硅表面增强拉曼基底的制备方法

摘要

本发明公开了一种银/多孔金字塔硅表面增强拉曼基底的制备方法，通过先后使用混合溶液刻蚀法和金属辅助刻蚀法制备出多孔金字塔硅，随后将其放置于氢氟酸和硝酸银混合溶液中浸渍还原得到银/多孔金字塔硅表面增强拉曼基底。本发明方法制备的银/多孔金字塔硅表面增强拉曼基底的金字塔阵列及其表面的银纳米颗粒分布比较均匀，且工艺、设备简单，为银/三维硅结构表面增强拉曼基底的制备提供了一种新型、低成本的方法。

主权项

1.一种银/多孔金字塔硅表面增强拉曼基底的制备方法，其特征在于包括如下步骤：步骤1：将硅片放入RCA‑1溶液中超声清洗30min，备用；步骤2：室温下，将NaOH溶液加入烧杯中，对经步骤1清洗后的硅片在一定温度下进行化学抛光；步骤3：将NaOH溶液和异丙醇依次加入到烧杯中，对经步骤2化学抛光处理后的硅片在一定温度下进行刻蚀，随后使用去离子水清洗，备用；步骤4：将步骤3刻蚀后的硅片依次浸入HF/AgNO₃混合溶液和HF/H₂O₂混合溶液中，随后使用浓硝酸浸泡、去离子水清洗，得到多孔金字塔硅；步骤5：将多孔金字塔硅浸入HF/AgNO₃混合溶液中反应一定时间后清洗、干燥，即可得到银/多孔金字塔硅表面增强拉曼基底。