[发明专利]基板处理方法及基板处理装置

摘要

本发明提供一种向基板供给通过将硫酸与双氧水按照第一混合比混合而生成的第一SPM的基板处理方法及基板处理装置。在停止供给第一SPM后向基板供给第二SPM，该第二SPM是通过将硫酸与双氧水按照大于第一混合比的第二混合比混合而生成的。使从基板排出的第一SPM流入排液管道。并且使从基板排出的第二SPM流入回收管道。通过将双氧水与由回收管道引导的第二SPM中含有的硫酸混合来生成SPM。

主权项

1.一种基板处理方法，用作为硫酸与双氧水的混合液的SPM从基板上去除抗蚀剂，其中，所述基板处理方法包括：第一SPM供给工序，向基板供给第一SPM，所述第一SPM是通过将硫酸与双氧水按照用于表示硫酸与双氧水的比的第一混合比混合而生成的，含硫酸液体供给工序，在所述第一SPM供给工序中停止供给所述第一SPM后，向所述基板供给以比所述第一SPM高的浓度含有硫酸的含硫酸液体，排液工序，使在所述第一SPM供给工序中供给至所述基板并从所述基板排出的所述第一SPM流入排液管道，回收工序，使在所述含硫酸液体供给工序中供给至所述基板并从所述基板排出的所述含硫酸液体流入回收管道，以及再混合工序，通过将双氧水与由所述回收管道引导的所述含硫酸液体混合来生成所述SPM。