[发明专利]一种氧化锌纳米线气体传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910151023.5 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN109813760A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 周文鳞;王青 | 申请（专利权）人： | 江苏理工学院 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 高姗 |
| 地址： | 213001 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于气体检测技术领域，具体涉及一种氧化锌纳米线气体传感器及其制备方法，该气体传感器的制备方法主要步骤涉及氧化锌纳米线的制备、纳米线的转移和薄膜金电极的制备。该气体传感器的结构中，氧化锌纳米线作为气敏材料，薄膜金电极与氧化锌纳米线构成金属‑半导体的肖特基结。该气体传感器利用一维纳米线形貌结构有利于气体分子吸附、肖特基结型器件有利于获得较大响应电信号的优点，可以实现高灵敏度和高响应速度的气体检测。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌纳米线 气体传感器 制备 肖特基结 金电极 薄膜 气体检测技术 一维纳米线 高灵敏度 气敏材料 气体分子 气体检测 形貌结构 大响应 高响应 纳米线 吸附 半导体 金属 | ||
【主权项】：
1.一种氧化锌纳米线气体传感器，其特征在于：其包括衬底(1)，衬底(1)上附着有多根氧化锌纳米线(2)，氧化锌纳米线(2)的两端各搭接有一薄膜Au电极(3)，所述薄膜Au电极(3)的端部引出处设有引线盘(4)，引线盘(4)上设有引出线(5)。
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