[发明专利]一种镁铝合金载氢薄膜材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201910152281.5 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN109680254B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 王亮;唐舵;吉祥波;王窈;李勇;邢宗仁;覃文志;高原 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院化工材料研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/18;C22C21/06;F42C19/08;C01B3/00 |
| 代理公司： | 四川省成都市天策商标专利事务所 51213 | 代理人： | 刘渝 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镁铝合金载氢薄膜材料，包括镁铝合金薄膜，所述镁铝合金薄膜中镁原子和铝原子的比例在9:1到1:9之间；氢原子所占比例小于等于20％。镁铝合金载氢薄膜材料的激光驱动效率提升原理是：金属储氢材料在强激光烧蚀作用下，迅速释放出氢气，氢参与并增强激光烧蚀反应，使得光致等离子体温度和电子密度增加，进而提升等离子体驱动效率。其制备方法包括如下步骤1：选取具有高激光透过率的基片，将其清洗干净并烘干备用；步骤2：将步骤1所得基片与镁铝合金靶材放入溅射腔室，安装固定后抽真空；步骤3：通过磁控溅射镁铝合金薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铝合金 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种镁铝合金载氢薄膜材料，包括镁铝合金薄膜，其特征在于：所述镁铝合金薄膜中镁原子和铝原子的比例在9:1到1:9之间；氢原子所占比例小于等于20％。
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