[发明专利]气幕隔离装置及气幕隔离腔在审
| 申请号： | 201910152814.X | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111621755A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 年志刚;余冲平;罗友菊;张贵土;徐铭俊;姚灿明;张权威 | 申请（专利权）人： | 广东汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 姜波 |
| 地址： | 517000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜太阳能电池制造技术领域，具体涉及气幕隔离装置及使用其的一种气幕隔离腔。本发明提供的气幕隔离装置，包括第一隔离板和第二隔离板，所述第一隔离板和所述第二隔离板相对设置，所述第一隔离板和所述第二隔离板的相对面之间形成输送间隙；所述第一隔离板和所述第二隔离板中的至少一者上设有气幕隔离机构，用于气体的输送以在所述输送间隙形成气幕。由于气幕隔离装置内形成输送间隙，因此可以实现产品的连续传递，同时气幕隔离区能够隔离相邻两个工艺腔，降低相邻两个工艺腔之间出现串气的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 隔离 装置 | ||
【主权项】：
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