[发明专利]阵列基板及其制作方法和显示装置

摘要

本发明公开了一种阵列基板及其制作方法和显示装置，其中阵列基板包括：驱动电源线、辅助金属层和第一电容；薄膜晶体管层包括依次层叠设置的有源层、栅极和与有源层连接的源/漏极，第一电容的第一极板与栅极位于同一层，电容的第二极板与源/漏极位于同一层。将第一电容的第一极板与栅极设置在同一层，并且采用源/漏极所在层的金属作为第一电容的第二极板，无需单独制作的作为电容另一个极板的金属层，可以省去一层金属层，即可以省去一层掩膜。在增加辅助金属层减小电源Vdd的进线的阻抗的情况下，无需增加更多的掩膜。可以减小电源Vdd的进线压降的同时，减少掩膜的数量，从而减少生产成本，降低制作工艺的复杂程度。

主权项

1.一种阵列基板，包括：层叠设置的基板、薄膜晶体管层，其特征在于，还包括：驱动电源线、与所述驱动电源线连接的辅助导电层和与所述薄膜晶体管层同层且间隔设置的第一电容；其中，所述薄膜晶体管层包括依次层叠设置的有源层、栅极和与所述有源层连接的源/漏极或依次层叠设置的栅极、有源层和与所述有源层连接的源/漏极，所述第一电容的第一极板与所述栅极位于同一层，所述电容的第二极板与所述源/漏极位于同一层。