[发明专利]一种薄膜太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明提供一种薄膜太阳能电池制备方法，包括以下步骤：依次在衬底层上制备背电极层、光吸收层、缓冲层、高阻窗口层、第一低阻窗口层以及第二低阻窗口层；其中，第一低阻窗口层与第二低阻窗口层的材质不同；在第二低阻窗口层上制备第一纳米孔阵列以形成掩模版；其中，第一纳米孔阵列中的第一纳米孔上下贯通；通过掩模版在第一低阻窗口层的表面进行图形转移，以在第一低阻窗口层的表面形成第二纳米孔阵列；其中，第二纳米孔阵列中的第二纳米孔的孔深小于第一低阻窗口层的厚度。本发明还提供一种采用上述制备方法制备的薄膜太阳能电池。本发明不仅可以提高电池光电转换效率，而且可以降低生产成本，实现大规模量产。