[发明专利]成像光谱仪的线性渐变滤光片检测装置在审
| 申请号： | 201910156114.8 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN109799077A | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 薛浩;郑玉权;蔺超;纪振华;王龙;韦跃峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 成像光谱仪的线性渐变滤光片检测装置，包括白色光源、第一反射镜、第二反射镜、线性渐变滤光片、第三反射镜、光阑组件、第四反射镜、检测模块；白色光源发射基准光，基准光经第一反射镜准直后，反射至第二反射镜，经第二反射镜汇聚后，在线性渐变滤光片的待测表面第一次成像；透射过线性渐变滤光片的基准光经第三反射镜准直后，反射至第四反射镜，经第四反射镜汇聚后，在检测模块上第二次成像并输出单点检测光谱特性；精密位移台调整线性渐变滤光片的位置，实现对线性渐变滤光片的多点扫描测量，得出线性渐变滤光片的光谱特性分布规律。本发明的检测装置更接近于线性渐变滤光片在成像光谱仪中的使用状态，检测结果更加精确。 | ||
| 搜索关键词： | 线性渐变滤光片 反射镜 成像光谱仪 检测装置 基准光 白色光源 光谱特性 检测模块 成像 反射 精密位移台 汇聚 单点检测 多点扫描 分布规律 光阑组件 检测结果 透射 测量 发射 输出 | ||
【主权项】：
1.成像光谱仪的线性渐变滤光片检测装置，其特征在于，包括白色光源(6)、第一反射镜(7)、第二反射镜(5)、线性渐变滤光片(3)、第三反射镜(2)、光阑组件(1)、第四反射镜(9)、精密位移台(4)、检测模块；所述白色光源(6)发射基准光，所述基准光经所述第一反射镜(7)准直，再经第二反射镜(5)汇聚后，入射到线性渐变滤光片的入射狭缝处，在线性渐变滤光片(3)的待测表面第一次成像；透射过所述线性渐变滤光片(3)的基准光经所述第三反射镜(2)准直，再经第四反射镜(9)汇聚后，在所述检测模块上第二次成像并输出线性渐变滤光片的单点检测光谱特性；所述精密位移台(4)与线性渐变滤光片(3)连接，用于调整线性渐变滤光片(3)的位置，实现对线性渐变滤光片(3)的多点扫描测量，得出线性渐变滤光片(3)的光谱特性分布规律。
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