[发明专利]一种探针卡的针尖的智能检测及处理方法

摘要

本发明包括一种探针卡的针尖的智能检测及处理方法，包括：步骤S1，提供一测试仪自动检测探针卡的针尖的直径是否符合一预设规格范围；若是，则转向步骤S2；若否，则转向步骤S5；步骤S2，测试仪自动检测探针卡的针尖是否粘有颗粒物；若是，则转向步骤S3；若否，则转向步骤S6；步骤S3，判断探针卡的针尖是否被清理过；若是，则转向步骤S5；若否，则转向步骤S4；步骤S4，机台对探针卡的针尖进行清理，并在清理结束后自动返回步骤S1；步骤S5，机台停止测试并报警提示更换探针卡；步骤S6，启动晶圆接受测试。有益效果：通过软件系统控制测试仪自动对探针卡的针尖进行检测，避免由于探针卡的针尖异常引起的晶圆测试异常或导致晶圆报废。

主权项

1.一种探针卡的针尖的智能检测及处理方法，其特征在于在进行晶圆接受测试的过程中对所述探针卡的针尖进行实时检测，具体包括以下步骤：步骤S1，提供一测试仪自动检测所述探针卡的针尖的直径是否符合一预设规格范围；若是，则转向步骤S2；若否，则转向步骤S5；所述步骤S2，所述测试仪自动检测所述探针卡的针尖是否粘有颗粒物；若是，则转向步骤S3；若否，则转向步骤S6；所述步骤S3，判断所述探针卡的针尖是否被清理过；若是，则转向所述步骤S5；若否，则转向步骤S4；所述步骤S4，机台对所述探针卡的针尖进行清理，并在清理结束后自动返回所述步骤S1；所述步骤S5，所述机台停止测试并报警提示更换所述探针卡；所述步骤S6，启动所述晶圆接受测试。