[发明专利]一种补温调温退火炉系统

摘要

本发明涉及电子电路晶体零件领域，具体为一种补温调温退火炉系统。一种补温调温退火炉系统，包括炉主体和互补调温器，所述互补调温器通过补偿通气管和炉主体连接，其中：所述互补调温器包括调温仓、冷凝抽真空管、机械抽气真空管、冷凝抽真空泵、机械抽气真空泵；调温仓通过头端的补偿通气管和炉主体连接，调温仓内设置电加热片堆，调温仓尾端接通冷凝抽真空管，冷凝抽真空管尾端向下连接冷凝抽真空泵，机械抽气真空管连接机械抽气真空泵，机械抽气真空管的进口和冷凝抽真空管相连接，补偿通气管连接通过调温仓至冷凝抽真空管接通冷凝抽真空泵形成抽真空通路；所述调温仓的前仓壁上焊接或铰接有降温仓。

主权项

1.一种补温调温退火炉系统，包括炉主体和互补调温器，所述互补调温器通过补偿通气管和炉主体连接，其特征是：所述互补调温器包括调温仓、冷凝抽真空管、机械抽气真空管、冷凝抽真空泵、机械抽气真空泵；调温仓通过头端的补偿通气管和炉主体连接，调温仓内设置电加热片堆，调温仓尾端接通冷凝抽真空管，冷凝抽真空管尾端向下连接冷凝抽真空泵，机械抽气真空管连接机械抽气真空泵，机械抽气真空管的进口和冷凝抽真空管相连接，补偿通气管连接通过调温仓至冷凝抽真空管接通冷凝抽真空泵形成抽真空通路；所述调温仓的前仓壁上焊接或铰接有降温仓，降温仓内设置有水冷降温循环堆，水冷降温循环堆通过水循环管和降温仓外设置的水冷循环泵相连接；所述机械抽气真空管的进口和冷凝抽真空管相连接处的后方，冷凝抽真空管设置双向气阀，双向气阀上安装设置流量控制器；所述炉主体的前舱门上设置有调节仓盖，所述炉主体的前舱门上设置有调节仓盖，所述调节仓盖包括加装仓盖板、主移动轨、封盖横架、封盖；加装仓盖板上设置舱门，加装仓盖板在舱门的左右两侧或上下两侧设置两只一组平行设置的主移动轨，两只主移动轨之间横向架设封盖横架，封盖横架上设置紧压件设置槽，紧压件设置槽内悬挂有至少2只吸盘、1只升降气缸，1只压紧气缸，吸盘底部吸附着封盖，升降气缸的机轴铆接封盖并控制封盖在舱门表面的升降，压紧气缸的气缸轴底部设置橡皮压头，橡皮压头贴合在舱门表面；且封盖横架两侧底部匹配主移动轨位置设置微电机滑架，微电机滑架架设在主移动轨的滑轨槽中，随滑轨槽在主移动轨中移动，带动封盖横架在主移动轨上上下的移动；所述降温仓包括外开仓盖、外立壁、底壁，底壁中心设置降温口和调温仓向通，外立壁一侧设置水冷降温循环堆的水循环接口，底壁在降温口边沿贴合设置T形架，降温仓内的水冷降温循环堆底部垫接有悬置抽拉板，悬置抽拉板的前端朝向外开仓盖一侧竖向设置竖向伸缩架杆。