[发明专利]柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置在审
| 申请号： | 201910165227.4 | 申请日： | 2019-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN109894010A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 王鲁南;窦立峰 | 申请（专利权）人： | 南京汇金锦元光电材料有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02;B01F5/02;B01F5/06;B01F13/10;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 王清义 |
| 地址： | 210046 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明是柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，包括若干级气体混合子单元顺次连接组成的气体混合单元，气体混合子单元包括导流混合舱和混合舱，混合舱为空心管状且侧壁两端边缘分别设置有环形进气带和环形出气带，混合仓的环形进气带与导流混合舱出气端连通，混合仓的环形出气带与下一级气体混合子单元内的导流混合舱的进气端连通，气体混合单元前置第一混合舱，第一混合舱的环形出气带与第一级气体混合子单元内导流混合舱的进气端连通，第一混合舱的进气端与反应气体混合室连通，第一混合舱的环形进气带与工作气体储气舱连通。该装置体积小、结构简单、经济，多种气体混合密度分布均匀，对柔性宽幅连续磁控溅射镀膜横向均匀性控制作用明显。 | ||
| 搜索关键词： | 混合舱 气体混合 连通 子单元 导流 磁控溅射镀膜 出气 进气端 进气 宽幅 气体混合单元 气体混合装置 混合仓 横向均匀性 反应气体 工作气体 空心管状 控制作用 密度分布 顺次连接 出气端 第一级 混合室 体积小 侧壁 储气 前置 | ||
【主权项】：
1.柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：包括若干级气体混合子单元顺次连接组成的气体混合单元，所述的气体混合子单元包括导流混合舱（16）和混合舱（7），所述的混合舱（7）为空心管状，混合舱（7）的侧壁两端边缘分别设置有环形进气带（4）和环形出气带（5），所述的混合仓（7）的环形进气带（4）与导流混合舱（16）出气端连通，所述的混合仓（7）的环形出气带（5）与下一级气体混合子单元内的导流混合舱（16）的进气端连通，气体混合子单元内的混合舱（7）两端的进气端和出气端均密封；所述的气体混合单元前置第一混合舱（15），第一混合舱（15）的环形出气带（5）与第一级气体混合子单元内导流混合舱（16）的进气端连通，第一混合舱（15）的出气端密封，第一混合舱（15）的进气端与反应气体混合室（14）连通，第一混合舱（15）的环形进气带（4）与工作气体储气舱（6）连通；所述的反应气体混合室（14）与至少一个反应气体进气口连通，所述的工作气体储气舱（6）与至少一个工作气体进气口（3）连通；所述的环形进气带（4）环形分布若干个进气喷嘴（12），所述的进气喷嘴（12）的轴向沿环形进气带（4）的径向分布，所述的进气喷嘴（12）的孔径大小由管壁外侧到管壁内侧逐渐减小，所述的环形出气带（5）环形分布若干个出气喷嘴（13），所述的出气喷嘴（13）的轴向沿环形出气带（5）的径向分布，所述的出气喷嘴（13）的孔径大小由管壁内侧到管壁外侧逐渐减小。
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