[发明专利]样品台及透射模式电子背散射衍射（T-EBSD）系统和方法在审
| 申请号： | 201910166743.9 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN109709121A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 霍文霞;张磊 | 申请（专利权）人： | 内蒙古科技大学 |
| 主分类号： | G01N23/203 | 分类号： | G01N23/203;G01N23/20008;G01N23/22;G01N23/2206 |
| 代理公司： | 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562 | 代理人： | 宋平 |
| 地址： | 014010 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明提供了样品台及透射模式电子背散射衍射（T-EBSD）系统和方法。T‑EBSD系统包括：样品台，具有位于样品台的一端的夹具，夹具用于固定样品；探测器，用于接收透过样品的透射电子。通过采用本发明的系统和方法，可以提高分辨率。本发明的T‑EBSD样品台的设计实现了薄膜样品与水平面间夹角在30‑70°连续可调，并且薄膜样品可稳定固定于倾斜表面。 | ||
| 搜索关键词： | 样品台 电子背散射衍射 夹具 薄膜样品 透射模式 固定样品 连续可调 倾斜表面 透射电子 分辨率 探测器 | ||
【主权项】：
1.一种透射模式电子背散射衍射(T‑EBSD)系统，包括：物镜极靴，用于将入射电子发射至样品表面，所述入射电子与样品相互作用，产生透过所述样品的透射电子；样品台，具有位于所述样品台的一端的夹具，所述夹具用于固定所述样品；探测器，用于接收透过所述样品的所述透射电子。
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