[发明专利]一种高导热氮化硅陶瓷基板及其制备方法有效
| 申请号： | 201910167833.X | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN109987944B | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 谢志鹏;肖志才;胡丰;肖毅;刘剑;侯庆冬 | 申请（专利权）人： | 清华大学;常德科锐新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/587 | 分类号： | C04B35/587;C04B35/622;C04B35/638;C04B35/64;C04B37/00 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(特殊普通合伙) 33243 | 代理人： | 洪珊珊 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于高导热氮化硅陶瓷基板技术领域，特别涉及一种高导热氮化硅陶瓷基板及其制备方法。一种高导热氮化硅陶瓷基板，所述的陶瓷基板由若干氮化硅流延素坯叠层堆放而成，相邻的两氮化硅流延素坯设有中间层，中间层由两石墨板及两石墨条组成，两石墨条分别位于两石墨板两端之间且构成一腔室，石墨板上具有若干与所述腔室相通的孔洞，且石墨板与相对应的氮化硅流延素坯之间设有浆料分隔层。本发明制得的氮化硅陶瓷基板纯度和性能都较好，尤其具有较高热导率、优异力学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导热 氮化 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高导热氮化硅陶瓷基板，其特征在于，所述的陶瓷基板由若干氮化硅流延素坯叠层堆放而成，相邻的两氮化硅流延素坯设有中间层，中间层由两石墨板及两石墨条组成，两石墨条分别位于两石墨板两端之间且构成一腔室，石墨板上具有若干与所述腔室相通的孔洞，且石墨板与相对应的氮化硅流延素坯之间设有浆料分隔层。
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