[发明专利]样品成像系统、样品成像方法、计算机存储介质及计算机装置

摘要

本申请的样品成像系统、样品成像方法、计算机存储介质及计算机装置，包括：沿光轴排列的光源、探针光斑产生器件、样品台、步进电机、图像传感器、漂移反馈矫正系统及图像重建系统；光源产生相干光源至探针光斑产生器件以衍射形成探针光斑输出；样品台装载供探针光斑照射的样品；步进电机能驱动样品台进行沿或垂直光轴运动；漂移反馈矫正系统控制步进电机令样品台沿垂直光轴方向多次运动以令图像传感器采集到每次运动后所在位置的衍射图样；由衍射图样得到探针光斑的平均形貌来确定样品投影局部轴向漂移量，令步进电机驱动样品台反向移动校正该漂移量，再进行图像重建形成样品图像。通过校正样品局部漂移量以使样品成像质量有了大大的提升。

主权项

1.一种样品成像系统，其特征在于，包括：沿光轴共轴排列的光源、探针光斑产生器件、样品台、步进电机、图像传感器、漂移反馈矫正系统以及图像重建系统；所述光源，用于产生相干光源；所述探针光斑产生器件，用于接收所述相干光源，并经衍射形成探针光斑输出；所述样品台，用于装载样品，所述样品一侧对应供探针光斑照射；所述步进电机，连接并驱动所述样品台进行运动，所述运动包括：沿光轴前后运动、垂直光轴运动；所述图像传感器，设于样品另一侧，用于采集样品的衍射图样；所述漂移反馈矫正系统，耦接所述步进电机及所述图像传感器，用于控制步进电机驱动所述样品台在垂直于光路的平面内做上下左右方向固定步长的位移，将样品待测区域划分为了邻域部分重叠的多个局部扫描探测区域，所述图像传感器位于目标样品后采集衍射信号，对应每个局域扫描探针区域收集一幅衍射图样，共收集到多幅衍射图样；用于根据由衍射图样得到的探针光斑的平均形貌来分别确定样品局部扫描位置对应的样品投影局部轴向漂移量作为反馈参数，令步进电机驱动样品台及样品反向移动与偏移量相等的距离，对样品投影局部轴向漂移量进行校正；所述图像重建系统，耦接所述图像传感器，根据校正样品投影局部轴向漂移量之后的各衍射图样进行图像重建，形成样品图像。