[发明专利]离子注入装置及测量装置有效
| 申请号： | 201910170411.8 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN110364407B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 院田佳昭 | 申请（专利权）人： | 住友重机械离子科技株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244;H01J37/304 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 任玉敏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明可高速获取离子束的二维角度信息。本发明的离子注入装置具备：第1角度测量仪(51)，测量离子束的第1方向的角度信息；第2角度测量仪(52)，测量离子束的第2方向的角度信息；相对移动机构，向规定的相对移动方向改变第1角度测量仪(51)及第2角度测量仪(52)相对于离子束的相对位置；及控制装置，根据通过第1角度测量仪(51)测量的第1方向的角度信息及通过第2角度测量仪(52)测量的第2方向的角度信息，计算与射束行进方向及相对移动方向均正交的第3方向的角度信息。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 装置 测量 | ||
【主权项】：
1.一种离子注入装置，其特征在于，具备：束线装置，输送照射于晶圆的离子束；第1角度测量仪，测量所述离子束的角度信息中与射束行进方向正交的第1方向的角度信息；第2角度测量仪，测量所述离子束的角度信息中与所述射束行进方向正交并且与所述第1方向交叉的第2方向的角度信息；相对移动机构，向与所述射束行进方向正交并且与所述第1方向及所述第2方向均不正交的规定的相对移动方向改变所述第1角度测量仪及所述第2角度测量仪相对于所述离子束的相对位置；及控制装置，根据一边改变相对于所述离子束的相对位置一边通过所述第1角度测量仪测量的所述第1方向的角度信息与一边改变相对于所述离子束的相对位置一边通过所述第2角度测量仪测量的所述第2方向的角度信息，计算与所述射束行进方向及所述相对移动方向均正交的第3方向的角度信息。
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