[发明专利]基板研磨系统在审
| 申请号： | 201910171002.X | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN111571423A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 禹相政 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B57/02;B24B49/10 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及基板研磨系统，提供一种从处于研磨工序中的基板研磨层获得的接收数据算出预测拟合函数，随着研磨工序的进行而更新预测拟合函数，预测随着研磨工序的进行而引起的研磨厚度等信息变动推移，准确地预测研磨结束时间点的基板研磨系统。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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