[发明专利]一种基于移动平台的单粒子效应测试装置及方法在审
| 申请号： | 201910171410.5 | 申请日： | 2019-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN109900986A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 莫丹;刘杰;孙友梅;段敬来;姚会军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/303 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 谢斌 |
| 地址： | 730000 *** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于移动平台的单粒子效应测试装置及方法，包括试验桌，还包括：移动平台，设置在试验桌的一侧，移动平台上设有器件夹具，测试器件通过器件夹具固定在移动平台上，以实现测试器件的空间位置平移和转动操作；辐照单元，设置在试验桌的另一侧，用于输出离子束流；测量单元，设置在移动平台和辐照单元之间的试验桌上，用于记录和测量测试器件上单个或多个待测芯片的位置信息和高度信息。本发明能够显著地提高单粒子效应测试的准确性、稳定性和效率，而且可以节省束流时间，大幅度节省用户的试验费用。 | ||
| 搜索关键词： | 移动平台 单粒子效应测试 测试器件 试验桌 辐照单元 器件夹具 测量单元 待测芯片 高度信息 空间位置 离子束流 试验费用 转动操作 平移 束流 测量 输出 记录 试验 | ||
【主权项】：
1.一种基于移动平台的单粒子效应测试装置，包括试验桌(4)，其特征在于，还包括：移动平台(3)，设置在所述试验桌(4)的一侧，所述移动平台(3)上设有可转动的器件夹具(8)，测试器件(7)通过所述器件夹具(8)固定在所述移动平台(3)上，以实现所述测试器件(7)的空间位置平移和转动操作；辐照单元(10)，设置在所述试验桌(4)的另一侧，用于输出离子束流；测量单元(20)，设置在所述移动平台(3)和辐照单元(10)之间的所述试验桌(4)上，用于记录和测量所述测试器件(7)上单个或多个待测芯片的位置信息和高度信息。
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