[发明专利]一种质谱仪及质谱检测方法在审

专利信息
申请号: 201910175977.X 申请日: 2019-03-08
公开(公告)号: CN109887824A 公开(公告)日: 2019-06-14
发明(设计)人: 王亮 申请(专利权)人: 王亮
主分类号: H01J49/02 分类号: H01J49/02;H01J49/10;H01J49/42
代理公司: 上海骁象知识产权代理有限公司 31315 代理人: 赵峰
地址: 200437 上海市虹口*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种质谱仪,包括依次连接的、内部均为真空状态的离子化腔室、质量分析器腔室、检测器腔室,离子化腔室、质量分析器腔室、检测器腔室内分别设有离子源、质量分析器、检测器,离子源和质量分析器通过离子光学系统连接,质量分析器外部设有电极,质量分析器腔室和检测器腔室之间通过仅电子能穿过的薄膜间隔。本发明还提供了一种利用上述质谱仪实现的质谱检测方法,通过薄膜的设置实现质量分析器和检测器的工作气压的差异化,可以降低真空泵的负载,检测器的低工作气压保证了离子的检测灵敏度,同时高气压条件下的质量分析器可以保证正常的质量分辨能力,因而在极小的真空负载下同时保证了质谱仪的性能不受影响,尤其适合用于微型化和便携式质谱仪。
搜索关键词: 质量分析器 检测器 腔室 质谱仪 离子化腔室 工作气压 质谱检测 离子源 便携式质谱仪 离子光学系统 质量分辨能力 微型化 高气压条件 检测灵敏度 薄膜间隔 依次连接 真空负载 真空状态 差异化 电子能 真空泵 电极 保证 薄膜 离子 穿过 室内 外部
【主权项】:
1.一种质谱仪,其特征在于:包括依次连接的、内部均为真空状态的离子化腔室、质量分析器腔室、检测器腔室,所述离子化腔室、质量分析器腔室、检测器腔室内分别设有离子源、质量分析器、检测器,所述离子源和质量分析器通过离子光学系统连接,所述质量分析器外部设有电极,所述质量分析器腔室和检测器腔室之间通过仅电子能穿过的薄膜间隔。
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