[发明专利]测定器和求出测定器的偏离量的方法

摘要

本发明提供测定器和求出测定器的偏离量的方法。测定器具备基底基板、多个传感器电极、高频振荡器(171)、C/V转换电路(172)、A/D转换器(173)以及开关机构(190)。多个C/V转换电路(172)分别将多个传感器电极中的对应的传感器电极的电压振幅转换为表现静电电容的电压信号。开关机构(190)能够在第一状态与第二状态之间进行切换。在第一状态下，多个传感器电极分别电连接于多个C/V转换电路(172)。在第二状态下，多个电极对(105)分别电连接于多个C/V转换电路(172)中的不同的C/V转换电路(172)。多个电极对(105)分别包括多个传感器电极中的在周向上相邻的两个传感器电极。

主权项

1.一种测定器，具备：圆盘状的基底基板；多个传感器电极，所述多个传感器电极沿所述基底基板的周缘在周向上排列；高频振荡器，其被设置为向所述多个传感器电极提供高频信号；多个C/V转换电路，各所述C/V转换电路分别将所述多个传感器电极中的对应的传感器电极的电压振幅转换为表现静电电容的电压信号；A/D转换器，其将从所述多个C/V转换电路的各所述C/V转换电路输出的所述电压信号转换为数字值；以及开关机构，其能够在第一状态与第二状态之间进行切换，其中，所述第一状态是所述多个传感器电极分别电连接于所述多个C/V转换电路的状态，所述第二状态是包括所述多个传感器电极中的在所述周向上相邻的两个所述传感器电极的多个电极对分别电连接于所述多个C/V转换电路中的不同的C/V转换电路的状态。