[发明专利]诊断装置、诊断方法及计算机可读存储介质有效
| 申请号： | 201910176799.2 | 申请日： | 2019-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN110260913B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 梅泽知纪 | 申请（专利权）人： | 株式会社理光 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及诊断装置、诊断方法及程序。本发明的课题在于,提供一种使得按照处理工序进行的异常检测变得容易的诊断装置、诊断方法及程序。诊断装置包括：分组部，按照同种的处理工序将从检测部输出的多个检测信息进行分组，检测部比较按对象装置的处理工序种类不同的多个处理信息，判别同种的处理工序，检测随对象装置的处理工序中的动作变化的物理量；异常判定部，利用由分组部分组的检测信息及判定对象的检测信息，判定对象装置有无异常。 | ||
| 搜索关键词： | 诊断 装置 方法 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
1.一种诊断装置，其特征在于，包括：分组部，比较根据对象装置的处理工序的种类而不同的多个处理信息，判别同种的处理工序，并按照上述同种的处理工序，将从检测根据上述对象装置的上述处理工序中的动作而变化的物理量的检测部输出的多个检测信息进行分组；以及异常判定部，利用由上述分组部分组的上述检测信息及判定对象的检测信息，判定上述对象装置有无异常。
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