[发明专利]真空度传感装置

摘要

本发明公开了一种真空度传感装置，主壳体内设有与待测真空腔连通的下腔及与大气连通的上腔，上腔的一侧设有输出接口，上腔内靠近输出接口的一侧设有外接引脚，另一侧设有固定引脚，所述的下腔与上腔之间设有隔板，隔板上设有连通下腔与上腔的通孔，所述通孔上方的上腔内设有PCB板及压力感应元件，所述PCB板通过外接引脚及固定引脚固定在上腔内，所述压力感应元件通过密封垫紧贴在隔板上，PCB板及密封垫中央均设有与所述通孔相对的气流孔，上腔的顶部设有上盖，下腔的开口一侧设有管接头。本发明的真空度传感装置具有结构合理，准确性与可靠性高的特点，具有很高的实用价值。

主权项

1.一种真空度传感装置，包括主壳体（1），其特征在于，所述主壳体内设有与待测真空腔连通的下腔（2）及与大气连通的上腔（3），上腔的一侧设有输出接口（4），上腔内靠近所述输出接口的一侧设有外接引脚（5），所述的外接引脚与输出接口电连接，上腔内远离输出接口的一侧设有固定引脚（6），所述的下腔与上腔之间设有隔板（7），隔板上设有连通下腔与上腔的通孔（8），所述通孔上方的上腔内设有PCB组件，所述PCB组件包括PCB板（9）及安装在PCB板底面的压力感应元件（10），所述PCB板通过外接引脚及固定引脚固定在上腔内，所述压力感应元件通过密封垫（11）紧贴在所述的隔板上，PCB板及密封垫上均设有与所述通孔相对的气流孔（12），上腔的顶部设有上盖（13），所述上盖封闭所述的上腔，所述下腔的开口一侧设有用于连接待测真空腔的管接头（14）。