[发明专利]一种镀膜修正板在审
| 申请号： | 201910181022.5 | 申请日： | 2019-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN109881165A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 裴立志;谢智威;晏柱;周伟杰 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 廖苑滨 |
| 地址： | 516600 广东省汕尾市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种镀膜修正板，包括支撑框架和设于所述支撑框架上的多个滑块；所述支撑框架形成开口区，所述多个滑块配置为通过伸缩运动调整所述开口区的开口形状。本发明提供的镀膜修正板在应用于镀膜作业中时，就可以通过调节设于支撑框架上的多个滑块的伸缩来实现调整开口区的开口形状，使得这样的镀膜修正板能够有效实现对镀膜的均一性调整，也能有效实现渐变膜镀制的调整，应用范围广，实用性强，有效提高了镀膜效率，且由于是直接驱动镀膜修正板本身的滑块进行调整，能够有效保证真空条件，保证生产效率和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 支撑框架 修正板 滑块 开口区 开口形状 有效实现 应用范围广 镀膜效率 镀膜作业 伸缩运动 生产效率 真空条件 直接驱动 渐变膜 均一性 伸缩 镀制 修正 保证 配置 应用 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜修正板，其特征在于，包括支撑框架和设于所述支撑框架上的多个滑块；所述支撑框架形成开口区，所述多个滑块配置为通过伸缩运动调整所述开口区的开口形状。
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