[发明专利]探针与电子器件引脚的对准方法及系统

摘要

本发明公开了探针与电子器件引脚的对准方法及系统，该系统包括顺序连接的对准子系统、光扫描子系统、光电信号处理子系统，首先录入相关信息；再调节光束与电子器件表面相交形成的光斑；再控制光束的运动轨迹，使光束与电子器件表面相交形成的光斑往复运动，在靠近电子器件引脚的区域进行逐点扫描；然后将返回的反射信号光功率与预定对准光功率进行比对，确定探针的对准位置，完成对准过程。本发明实现了探针和待测器件引脚之间的自动精确对准，解决了传统探针台只能通过手动方式及半自动化方式进行对准的问题，投入成本低、通用性好，效率更高，应用广泛，能够确保测试信号质量及测试结果的可靠性，并缩减测试时间，降低成本。

主权项

1.一种探针与电子器件引脚的对准方法，其特征在于，包括：录入步骤，录入电子器件上所需对准的电子器件引脚的面积；录入电子器件引脚的表面材料信息和周围材料信息；所述电子器件引脚的表面材料信息包括电子器件引脚的表面材料在预定波段的反射率；所述电子器件引脚的周围材料信息包括电子器件引脚的周围材料在预定波段的反射率；调节步骤，发出波长位于预定波段的光束，设置探针位于光束所经过的路径上或者设置探针位于光束所在的直线的延伸范围内；调节光束与电子器件表面相交形成的光斑；计算步骤，根据所需对准的电子器件引脚的面积、光斑面积、电子器件引脚的表面材料信息和周围材料信息，计算预定对准光功率；扫描步骤，控制光束的运动轨迹，使光斑往复运动，在靠近电子器件引脚的区域进行逐点扫描，并接收返回的反射信号光功率；处理步骤，当返回的反射信号光功率与预定对准光功率的差值的绝对值不大于预定差值时，确定探针的当前位置为所需对准的电子器件引脚的对准位置，完成对准过程。