[发明专利]感光性树脂组合物及使用其的图案形成方法有效
申请号: | 201910181558.7 | 申请日: | 2019-03-11 |
公开(公告)号: | CN110275391B | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 李殷相;梁敦植;宋寅珏 | 申请(专利权)人: | 东友精细化工有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/00 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 金鲜英;张敬强 |
地址: | 韩国全*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: |
本发明提供感光性树脂组合物及使用其的图案形成方法。上述感光性树脂组合物包含碱溶性树脂、感光剂、含有二 |
||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 使用 图案 形成 方法 | ||
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,其包含:碱溶性树脂、感光剂、含有二
烷系化合物的显影增强剂、以及溶剂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东友精细化工有限公司,未经东友精细化工有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910181558.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。