[发明专利]感光性树脂组合物及使用其的图案形成方法有效
| 申请号： | 201910181558.7 | 申请日： | 2019-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN110275391B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 李殷相;梁敦植;宋寅珏 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;张敬强 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供感光性树脂组合物及使用其的图案形成方法。上述感光性树脂组合物包含碱溶性树脂、感光剂、含有二 |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 使用 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其包含：碱溶性树脂、感光剂、含有二![]()
烷系化合物的显影增强剂、以及溶剂。
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