[发明专利]等离子表面处理装置及方法在审
| 申请号： | 201910182910.9 | 申请日： | 2019-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN110042348A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 云洋 | 申请（专利权）人： | 深圳奥拦科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 陈秀丽;陈小娜 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市前海深港合作区前*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种等离子表面处理装置及方法。等离子表面处理装置，包括：箱体、以及电极板，电极板包括置于箱体内的间隔设置的正极板和负极板，正极板和负极板之间形成用于放置一层工件的工作位。或，包括：箱体、以及间隔设置在箱体内的电极板，两个相邻电极板的极性相反，且相邻电极板之间形成用于放置一层工件的工作位。等离子表面处理方法，包括以下步骤：将工件置于箱体内的正极板和负极板之间，且在正极板和负极板之间置于一层工件，工件距离两个相邻的正极板和负极板的距离大致相同；对箱体进行抽真空处理，并向箱体内加入反应气体；对正极板和负极板通电，使箱体内的气体发生电离。 | ||
| 搜索关键词： | 负极板 正极板 等离子表面处理装置 电极板 相邻电极板 间隔设置 工作位 等离子表面处理 抽真空处理 反应气体 工件距离 极性相反 气体发生 电离 对正 极板 通电 | ||
【主权项】：
1.一种等离子表面处理装置，其特征在于，包括：箱体；以及电极板，所述电极板包括置于所述箱体内的间隔设置的正极板和负极板，所述正极板和负极板的其中一种至少有两个，所述正极板和所述负极板之间形成用于放置一层工件的工作位。
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