[发明专利]一种化学机械抛光设备在审
| 申请号： | 201910183083.5 | 申请日： | 2019-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN109702638A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 李冬;刘瑞雪;宋乘光;张鑫源;张兆盈;向恭梁;杨俊娜 | 申请（专利权）人： | 山东科技大学 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/34;B24B41/00 |
| 代理公司： | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种抛光设备，具体是一种化学机械抛光设备，包括安装有抛光头的减震连接座，所述减震连接座通过安装臂安装固定，减震连接座内部安装有缓冲系统。本发明中缓冲系统可避免抛光设备运行过程中抛光头直接接触抛光体造成损坏，使用寿命高。 | ||
| 搜索关键词： | 减震连接座 化学机械抛光设备 缓冲系统 抛光设备 抛光头 安装固定 内部安装 使用寿命 运行过程 安装臂 抛光体 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械抛光设备，包括安装有抛光头的减震连接座（3），其特征在于，所述减震连接座（3）通过安装臂（6）安装固定，减震连接座（3）内部安装有缓冲系统（8）。
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