[发明专利]一种穆勒显微偏振像差校准方法及装置有效

专利信息
申请号: 201910185842.1 申请日: 2019-03-12
公开(公告)号: CN109901281B 公开(公告)日: 2021-08-24
发明(设计)人: 程雪岷;余杰威;马辉;李懋林;何宏辉 申请(专利权)人: 清华大学深圳研究生院
主分类号: G02B21/36 分类号: G02B21/36;G02B27/00;G01M11/00
代理公司: 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 代理人: 江耀纯
地址: 518055 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种穆勒显微偏振像差校准方法及装置,所述方法包括如下步骤:S1、分别对标准样本和实验样本进行如下图像采集步骤:使光在经过起偏模块、样本、物镜、检偏模块后到达CCD,利用CCD进行图像采集;其中样本是指所述标准样本和实验样本;S2、数据采集完整之后对数据进行处理,其算法为特征值校准法,最后计算空气实验样本的穆勒矩阵;其中标准样本包括:空气标准样本、0°偏振片标准样本、90°偏振片标准样本和30°波片标准样本。本发明以特征值校准法为基础,并采用四种标准样本用以校准,保证了穆勒显微镜的测量精度和稳定性。
搜索关键词: 一种 穆勒 显微 偏振 校准 方法 装置
【主权项】:
1.一种穆勒显微偏振像差校准方法,包括如下步骤:S1、分别对标准样本和实验样本进行如下图像采集步骤:使光在经过起偏模块、样本、物镜、检偏模块后到达CCD,利用CCD进行图像采集;其中样本是指所述标准样本和实验样本;S2、数据采集完整之后对数据进行处理,其算法为特征值校准法,最后计算空气实验样本的穆勒矩阵;其中标准样本包括:空气标准样本、0°偏振片标准样本、90°偏振片标准样本和30°波片标准样本。
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