[发明专利]一种穆勒显微偏振像差校准方法及装置有效
申请号: | 201910185842.1 | 申请日: | 2019-03-12 |
公开(公告)号: | CN109901281B | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 程雪岷;余杰威;马辉;李懋林;何宏辉 | 申请(专利权)人: | 清华大学深圳研究生院 |
主分类号: | G02B21/36 | 分类号: | G02B21/36;G02B27/00;G01M11/00 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 江耀纯 |
地址: | 518055 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种穆勒显微偏振像差校准方法及装置,所述方法包括如下步骤:S1、分别对标准样本和实验样本进行如下图像采集步骤:使光在经过起偏模块、样本、物镜、检偏模块后到达CCD,利用CCD进行图像采集;其中样本是指所述标准样本和实验样本;S2、数据采集完整之后对数据进行处理,其算法为特征值校准法,最后计算空气实验样本的穆勒矩阵;其中标准样本包括:空气标准样本、0°偏振片标准样本、90°偏振片标准样本和30°波片标准样本。本发明以特征值校准法为基础,并采用四种标准样本用以校准,保证了穆勒显微镜的测量精度和稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 穆勒 显微 偏振 校准 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种穆勒显微偏振像差校准方法,包括如下步骤:S1、分别对标准样本和实验样本进行如下图像采集步骤:使光在经过起偏模块、样本、物镜、检偏模块后到达CCD,利用CCD进行图像采集;其中样本是指所述标准样本和实验样本;S2、数据采集完整之后对数据进行处理,其算法为特征值校准法,最后计算空气实验样本的穆勒矩阵;其中标准样本包括:空气标准样本、0°偏振片标准样本、90°偏振片标准样本和30°波片标准样本。
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