[发明专利]一种多阴极长寿命型离子源在审
| 申请号： | 201910189383.4 | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN109786199A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 方明江;蔡成振 | 申请（专利权）人： | 无锡诚承电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多阴极长寿命型离子源，采用间接式加热阴极的方式。由轴向对称的灯丝和阴极的热阴极组合构成双阴极结构，多组双阴极结构可自由切换离子发射端及反射端，提高离子源的寿命，提高离子注入机设备的稳定性与高效率。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 离子源 双阴极结构 长寿命型 离子注入机设备 间接式加热 离子发射 轴向对称 自由切换 反射端 高效率 热阴极 灯丝 | ||
【主权项】：
1.一种多阴极长寿命型离子源，由灯丝、阴极、弧室和磁场组成。
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