[发明专利]一种化学气相沉积设备及其控制方法和控制装置

摘要

本发明涉及一种化学气相沉积设备及其控制方法和控制装置，所述控制方法包括：调节所述化学气相沉积设备的内部压强至外界大气压强；检测是否发出放料信号；根据检测到的放料信号打开所述化学气相沉积设备的大气端隔离门；通过所述大气端隔离门进行放料操作。本发明的控制方法，在打开所述化学气相沉积设备的大气端隔离门前会检测是否发出放料信号，当检测到放料信号后，打开所述大气端隔离门，可以避免在无法进行放料操作时，由于长时间打开所述大气端隔离门，而使得所述玻璃基板发生电性缺陷超规异常的现象。