[发明专利]一种大负载晶圆针卡翻转调平机构有效
| 申请号： | 201910190485.8 | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN109870597B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 王骕;田学光;郑福志;高跃红;孙德举 | 申请（专利权）人： | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京中理通专利代理事务所(普通合伙) 11633 | 代理人： | 刘慧宇 |
| 地址： | 130102 吉林省长*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 具体涉及一种大负载晶圆针卡翻转调平机构，涉及半导体检测领域，为了解决现有技术存在的问题，其包括左立板、右立板、四根气弹簧组件、右旋转支臂机构、左旋转支臂机构、拉线机构、两个调整机构、上盖板和针卡固定组件；右旋转支臂机构固定在右立板上，左旋转支臂机构用螺钉固定在左立板上；两根气弹簧组件上端与右旋转支臂机构连接，下端与右立板相连；另外两根气弹簧组件上端与左旋转支臂机构相连，下端与左立板相连；拉线机构固定在右立板上；两个调整机构分别固定在左立板和右立板上；上盖板固定在两个调整机构、右旋转支臂机构和左旋转支臂机构上；针卡固定组件固定在上盖板上。该机构能够可靠稳定得使上盖板翻转，实现针卡高精度定位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 负载 晶圆针卡翻 转调 机构 | ||
【主权项】：
1.高精度大负载晶圆针卡翻转机构，其特征是，其包括左立板(1)、右立板(2)、四根气弹簧组件(3)、右旋转支臂机构(4)、左旋转支臂机构(5)、拉线机构(6)、两个调整机构(7)、上盖板(8)和针卡固定组件(9)；右旋转支臂机构(4)固定在右立板(2)上，左旋转支臂机构(5)用螺钉固定在左立板(1)上；两根气弹簧组件(3)上端与右旋转支臂机构(4)连接，下端与右立板(2)相连；另外两根气弹簧组件(3)上端与左旋转支臂机构(5)相连，下端与左立板(1)相连；拉线机构(6)固定在右立板(2)上；两个调整机构(7)分别固定在左立板(1)和右立板(2)上；上盖板(8)固定在两个调整机构(7)、右旋转支臂机构(4)和左旋转支臂机构(5)上；针卡固定组件(9)固定在上盖板(8)上。
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