[发明专利]一种固体聚合物碳源电化学沉积技术及装置在审
申请号: | 201910191998.0 | 申请日: | 2019-03-14 |
公开(公告)号: | CN109735827A | 公开(公告)日: | 2019-05-10 |
发明(设计)人: | 杨卫民;高晓东;谭晶;程礼盛;丁玉梅 | 申请(专利权)人: | 北京化工大学 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/455;C23C16/48 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开一种固体聚合物碳源电化学沉积技术及装置,装置主要包括气体排出管、左管塞、直流电源、高温炉、加热管、右管塞、气体通入管、惰性气体定量输出装置、导电棒、夹持装置、尾气处理装置、绝缘密封圈、基体、石英舟和固体聚合物等。本发明技术利用固体聚合物PE或者PVC等聚烯烃类作为碳源代替甲烷等气体,成本低,更加安全;在制备石墨烯过程中,加入电压电场的影响,提高石墨烯生长制备质量;采用外接电源的方式给夹持装置提供电压电场,同时可采用激光加热使固体聚合物聚烯烃类材料分解。该技术可应用于导电涂层、石墨烯材料的制备,也可直接对器件进行石墨烯导电涂层,使原材料在原有的性能应用上增加导电等性能,可扩大材料的应用领域。 | ||
搜索关键词: | 固体聚合物 石墨烯 制备 电化学沉积技术 导电涂层 电压电场 夹持装置 惰性气体定量 聚烯烃类材料 尾气处理装置 绝缘密封圈 气体排出管 石墨烯材料 激光加热 技术利用 聚烯烃类 扩大材料 输出装置 外接电源 性能应用 直流电源 导电棒 高温炉 加热管 石英舟 通入管 原有的 甲烷 导电 右管 左管 分解 生长 应用 安全 | ||
【主权项】:
1.一种固体聚合物碳源电化学沉积技术,其特征在于:第一步,将基体与固体聚合物碳源放入加热管中,加热管封闭,为保证后续隔绝空气;第二步,加热管抽真空并通入惰性气体;第三步,打开直流电源供电,采用激光或高温炉加热,高温炉启动后按照一定的加热速度升温,达到最高温度后按照一定的降温速度降温,使固体聚合物碳源高温加热裂解,得到游离的碳原子或者短碳链;第四步,关闭高温炉,关闭惰性气体定量输出装置,打开左管塞,取出石墨烯或石墨涂层基体。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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