[发明专利]一种数字光刻的调焦系统及方法

摘要

本发明提供了一种数字光刻的调焦系统，包括调焦装置、反射型光调制器、光刻镜头和第二光源；所述反射型光调制器设置在所述光刻镜头的一焦平面上；所述调焦装置包括第一光源、分光镜、二向色镜以及光电传感器；本发明还提供的一种数字光刻方法，还包括以下步骤：S1：开启第一光源；S2：调节所述反射型光调制器的局部微反射镜处于“on”状态；S3：调整所述光刻镜头和晶圆之间的距离并适时读取所述光电传感器的显示数值，直至所述光电传感器的显示数值最大时，晶圆处于光刻基准位置；S4：关闭所述第一光源，并光刻晶圆，实现对光刻镜头进行快速对焦，提高光刻镜头对焦精度以及减少显影耗材消耗。

主权项

1.一种数字光刻的调焦系统，其特征在于，包括调焦装置、反射型光调制器、光刻镜头和第二光源；所述反射型光调制器设置在所述光刻镜头的一焦平面上；所述调焦装置包括第一光源、分光镜、二向色镜以及光电传感器；所述分光镜用于将所述第一光源出射的输出光线反射到所述二向色镜上，以及用于将所述二向色镜反射的测试光线透射到所述光电传感器；所述二向色镜用于将所述分光镜透射的输出光线反射到所述反射型光调制器，用于将所述反射型光调制器反射的测试光线反射向所述分光镜，以及用于将所述第二光源的输出光刻光线透射到所述反射型光调制器；所述反射型光调制器用于将所述二向色镜反射的输出光线反射到所述光刻镜头中，以及用于将所述光刻镜头聚焦的测试光线反射向所述二向色镜；所述光刻镜头用于将所述反射型光调制器反射的输出光线聚焦到晶圆上，以及用于将晶圆反射的测试光线聚焦至所述反射型光调制器。