[发明专利]弹性波装置有效
| 申请号： | 201910192683.8 | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN110289826B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 林泰伸;山根毅 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/145;H03H3/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 朴云龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供能够使布线电极对热冲击试验的可靠性提高的弹性波装置。间隔层(5)直接或间接地形成在支承基板(1)上，在从支承基板(1)的厚度方向(D1)俯视的情况下形成在压电膜(2)的外侧。覆盖层(6)形成在间隔层(5)上。贯通电极(7)贯通间隔层(5)和覆盖层(6)，并与布线电极(4)电连接。布线电极(4)具有：第一部分(41)，在从厚度方向(D1)的俯视下与贯通电极(7)重叠；第二部分(42)，在从厚度方向(D1)的俯视下与压电膜(2)重叠；以及台阶部(431)，在第一部分(41)与第二部分(42)之间形成厚度方向(D1)上的台阶。间隔层(5)中的覆盖层(6)侧的端部(52)进入到覆盖层(6)。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 装置 | ||
【主权项】：
1.一种弹性波装置，具备：支承基板；压电膜，直接或间接地形成在所述支承基板上；功能电极，直接或间接地形成在所述压电膜上；布线电极，与所述功能电极电连接；间隔层，直接或间接地形成在所述支承基板上，在从所述支承基板的厚度方向俯视的情况下，形成在所述压电膜的外侧；覆盖层，形成在所述间隔层上；以及贯通电极，贯通所述间隔层和所述覆盖层，并与所述布线电极电连接，所述布线电极具有：第一部分，在从所述厚度方向的俯视下与所述贯通电极重叠；第二部分，在从所述厚度方向的俯视下与所述压电膜重叠；以及台阶部，在所述第一部分与所述第二部分之间形成所述厚度方向上的台阶，所述间隔层中的所述覆盖层侧的端部进入到所述覆盖层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社村田制作所，未经株式会社村田制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910192683.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种薄膜体声波谐振器及其制造方法、滤波器以及双工器
- 下一篇：弹性波装置
