[发明专利]形成氧化物的涂布液、制造氧化物膜的方法和制造场效应晶体管的方法在审
| 申请号： | 201910193477.9 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN110289311A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 早乙女辽一;植田尚之;安藤友一;中村有希;安部由希子;松本真二;曾根雄司;新江定宪;草柳岭秀 | 申请（专利权）人： | 株式会社理光 |
| 主分类号： | H01L29/51 | 分类号： | H01L29/51;H01L21/288;H01L29/786 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;钟海胜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种形成氧化物的涂布液、制造氧化物膜的方法和制造场效应晶体管的方法。所述涂布液包含：A元素，所述A元素是至少一种碱土金属；和B元素，所述B元素是选自由镓(Ga)、钪(Sc)、镱(Y)和镧系元素所组成的组中的至少一种，其中，当所述A元素的总浓度由CA mg/L来表示并且所述B元素的总浓度由CB mg/L来表示时，所述涂布液中的钠(Na)和钾(K)的总浓度为(CA+CB)/103mg/L或更小并且所述涂布液中的铬(Cr)、锰(Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)和铜(Cu)的总浓度为(CA+CB)/103mg/L或更小。 | ||
| 搜索关键词： | 涂布液 效应晶体管 氧化物膜 制造场 氧化物 碱土金属 镧系元素 制造 自由 | ||
【主权项】：
1.一种用于形成氧化物的涂布液，所述涂布液包含：A元素，所述A元素是至少一种碱土金属；和B元素，所述B元素是选自由镓(Ga)、钪(Sc)、镱(Y)和镧系元素所组成的组中的至少一种，其中，当所述A元素的总浓度由CA mg/L来表示并且所述B元素的总浓度由CB mg/L来表示时，所述涂布液中的钠(Na)和钾(K)的总浓度为(CA+CB)/103mg/L或更小并且所述涂布液中的铬(Cr)、锰(Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)和铜(Cu)的总浓度为(CA+CB)/103mg/L或更小。
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