[发明专利]微型泵有效
申请号: | 201910197045.5 | 申请日: | 2019-03-15 |
公开(公告)号: | CN111692085B | 公开(公告)日: | 2023-06-06 |
发明(设计)人: | 莫皓然;高中伟;陈世昌;廖家淯;廖鸿信;黄启峰;韩永隆;蔡长谚 | 申请(专利权)人: | 研能科技股份有限公司 |
主分类号: | F04B45/047 | 分类号: | F04B45/047 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 聂慧荃;郑特强 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种微型泵,包括依序堆叠的设置的进气板、共振片、压电致动器、绝缘片及导电片。进气板具有进气孔、汇流排孔及汇流腔室。共振片具有中空孔。压电致动器与共振片之间定义腔室空间,压电致动器包含悬浮板、外框、连接部及压电元件,连接部连接于悬浮板及外框之间,并定义间隙以供气体流通。导电片具有多个接触导电端,用以电连接压电元件。当压电致动器受驱动时,气体由进气孔导入,流经汇流腔室、中空孔导入腔室空间内,再经由间隙排出,以实现气体的传输。 | ||
搜索关键词: | 微型 | ||
【主权项】:
暂无信息
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