[发明专利]芯片挑拣总成及芯片移动方法有效
申请号: | 201910197436.7 | 申请日: | 2019-03-15 |
公开(公告)号: | CN110299303B | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 谢作宏;刘长霖;蔡振扬;李建德 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 罗英;臧建明 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种芯片挑拣总成及芯片移动方法,芯片挑拣总成适于配合转移装置及连接至转移装置的吸嘴来移动在薄膜上以矩阵排列的多个芯片,芯片依照一选定矩阵及属性区分为多个矩阵芯片群及多个非矩阵芯片,属于矩阵芯片群之一的芯片的排列符合一选定矩阵,属于矩阵芯片群之一的芯片的属性彼此归属同一测试结果范围下的类别。芯片挑拣总成包括单一第一顶针及多个第二顶针。第一顶针适于耦接至位移装置,以一次移动属于非矩阵芯片之一。第二顶针适于耦接至位移装置,以一次同时移动属于矩阵芯片群之一的芯片,或者与单一第一顶针一次同时移动属于矩阵芯片群之一的芯片。芯片挑拣总成及芯片移动方法均可缩短挑拣芯片的时间。 | ||
搜索关键词: | 芯片 挑拣 总成 移动 方法 | ||
【主权项】:
1.一种芯片挑拣总成,适于配合转移装置及连接至所述转移装置的吸嘴来移动在薄膜上以矩阵排列的多个芯片,所述多个芯片依照选定矩阵及属性区分为多个矩阵芯片群及多个非矩阵芯片,属于所述多个矩阵芯片群的其中一个的所述多个芯片的排列符合选定矩阵,属于所述多个矩阵芯片群的其中一个的所述多个芯片的属性彼此归属同一测试结果范围下的类别,其特征在于,所述芯片挑拣总成包括:单一第一顶针,适于耦接至位移装置,以一次移动属于所述多个非矩阵芯片的其中一个;以及多个第二顶针,适于耦接至另一个位移装置,以一次同时移动属于所述多个矩阵芯片群的其中一个的所述多个芯片,或者与所述单一第一顶针一次同时移动属于所述多个矩阵芯片群的其中一个的所述多个芯片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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