[发明专利]一种柔性薄膜压力传感器的制备方法有效
| 申请号： | 201910197636.2 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN109945999B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 蒋书文;于江涛;肖瑶;术洋溢;张万里 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： |
一种柔性薄膜压力传感器的制备方法，属于压力传感器制备技术领域。包括：1)在柔性基板上形成电极层；2)将导电填料加入有机溶剂中，混合均匀，得到混合液A；然后，在混合液A中加入高分子基体材料和改性剂，混合均匀，得到浆料；3)搅拌，得到的复合浆料采用丝网印刷的方法涂覆于带电极层的柔性基板上，得到具有表面微结构的敏感层；4)将两个带敏感层和电极层的柔性基板相对放置，封装，得到所述柔性薄膜压力传感器。本发明得到的柔性薄膜压力传感器，灵敏度高(5kPa |
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| 搜索关键词： | 一种 柔性 薄膜 压力传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性薄膜压力传感器的制备方法，包括以下步骤：步骤1、在柔性基板上形成电极层；步骤2、在步骤1得到的带电极层的柔性基板上形成具有表面微结构的导电高分子复合材料敏感层；2.1将导电填料加入有机溶剂中，混合均匀，得到混合液A；其中，导电填料与有机溶剂的质量比为1：(10～50)；2.2在步骤2.1得到的混合液A中加入高分子基体材料和改性剂，混合均匀，得到浆料；其中，所述高分子基体材料、导电填料与改性剂的质量比为1：(0.01～0.07)：(0.05～0.3)；2.3将步骤2.2得到的浆料经搅拌处理，得到粘度>10000mPa·s的导电高分子复合浆料；2.4将步骤2.3得到的复合浆料采用丝网印刷的方法印刷于步骤1得到的带电极层的柔性基板上，得到具有表面微结构的导电高分子复合材料敏感层；步骤3、柔性薄膜压力传感器的制备；将两个步骤2得到的带敏感层和电极层的柔性基板相对放置，以使两个敏感层相对贴合，封装，得到所述柔性薄膜压力传感器。
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