[发明专利]可降低电学串扰的单光子探测器阵列及制备方法

摘要

一种可降低电学串扰的单光子探测器阵列及制备方法。该单光子探测器阵列包括外延片和形成在外延片正面上的钝化层；其中，钝化层上设有若干像元P电极窗口和若干隔离区电极窗口，所述隔离区电极窗口位于相邻的两个所述像元P电极窗口之间；每个像元P电极窗口内均设有像元P电极，每个隔离区电极窗口内均设有隔离区电极；外延片上与所述钝化层相邻一侧形成有有源扩散区和扩散隔离区，其中有源扩散区与像元P电极相邻，扩散隔离区与隔离区电极相邻。本发明的单光子探测器阵列可有效实现对近红外波段微弱光的探测，降低SPAD阵列像元之间的串扰，可完全避免电学串扰，实现SPAD阵列像元之间的高度隔离。

主权项

1.一种单光子探测器阵列，其特征在于，包括外延片和形成在外延片正面上的钝化层(2)；其中，所述钝化层(2)上设有若干像元P电极窗口(201)和若干隔离区电极窗口(203)，所述隔离区电极窗口(203)位于相邻的两个所述像元P电极窗口(201)之间；每个像元P电极窗口(201)内均设有像元P电极(202)，每个隔离区电极窗口(203)内均设有隔离区电极(204)；所述外延片上与所述钝化层(2)相邻一侧形成有有源扩散区(302)和扩散隔离区(304)，其中所述有源扩散区(302)与所述像元P电极(202)相邻，所述扩散隔离区(304)与所述隔离区电极(204)相邻；所述外延片背面设有N电极(4)和透光装置。