[发明专利]一种氮化铝膜及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201910197927.1 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN111690907B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 黄小辉;康建;郑远志;陈向东 | 申请（专利权）人： | 马鞍山杰生半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/34 | 分类号： | C23C16/34;C30B25/18;C30B29/38;H01L33/00;H01L33/12 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 朱颖;刘芳 |
| 地址： | 243000 安徽省马*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： |
本发明提供一种氮化铝膜及其制备方法和应用，该制备方法包括以下步骤：1)向反应室通入三甲基铝、氨气以及含有X元素的化合物，在衬底层上生成第一(AlX |
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| 搜索关键词： | 一种 氮化 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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